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      帶水膜不銹鋼真空吸盤抓取吸力影響

      放大字體  縮小字體 發布日期:2020-02-19 09:15:45    瀏覽次數:9    評論:0
      導讀

      目的從水膜吸附的功能研究出發,對不銹鋼基板表面進行不同粗糙度處理,并測量不同基板對藍寶石晶片的吸附力以及切向摩擦力的影響,從而得出粗糙度對水膜吸附效果的影響規律。方法通過砂紙打磨、研磨、拋光等方法,得到不同平均粗糙度(Sa=633.4、332.6、116.2、64.5、41.4 nm)的不銹鋼基板。利用接觸角計對液滴在基板表面

      目的 從水膜吸附的功能研究出發,對不銹鋼基板表面進行不同粗糙度處理,并測量不同基板對藍寶石晶片的吸附力以及切向摩擦力的影響,從而得出粗糙度對水膜吸附效果的影響規律。方法 通過砂紙打磨、研磨、拋光等方法,得到不同平均粗糙度(Sa=633.4、332.6、116.2、64.5、41.4 nm)的不銹鋼基板。利用接觸角計對液滴在基板表面形成的靜態接觸角進行拍攝,得出不同粗糙度不銹鋼表面的潤濕性能。開發設計高精度的多維力測量平臺,測量藍寶石晶片在不同粗糙度不銹鋼基板上潤濕后的吸附力和切向摩擦力,并與未潤濕的基板得到的測量結果進行對比研究,得出粗糙度對吸附力和摩擦系數的影響規律。結果 5種粗糙度的不銹鋼基板的靜態接觸角均小于90°,屬于親水性材料。水膜吸附條件下,吸附力大小隨粗糙度的增加而減??;接觸角大小隨粗糙度的增加而增大,且吸附力的減小率和接觸角的增大率趨勢相似;摩擦系數隨粗糙度的增大而增大?;灞砻娲植诙容^大時,水膜提供一定的粘滯力,使水膜吸附條件下比無水膜時的切向摩擦力更大;當粗糙度較小時,水膜更多的是潤滑作用,此時比無水膜時的切向摩擦力要小得多。結論 基板表面粗糙度較小時,基板能提供較大的吸附力,而摩擦力不如無水膜時的大;基板粗糙度較大時,吸附力相對較弱,但是摩擦力比無水膜的更大。在選擇不銹鋼基板作為水膜吸附夾持基板時,在保證足夠吸附力的條件下,可以適當提高基板的表面粗糙度,抵抗晶片拋光過程中受到拋光墊的摩擦力。

      關鍵詞:不銹鋼;水膜吸附;親疏水性;粗糙度;摩擦系數

      藍寶石作為 LED襯底以及手機面板的主要材料,隨著其應用的愈加廣泛,高效率的拋光方法也亟待開發[1-2]。雙面拋光具有平面度和平行度高、拋光效率高等優點,是超薄藍寶石晶片首選的拋光方法。而要采用雙面拋光方法,如何固定藍寶石晶片是一個困擾已久的問題,傳統的固定夾持方式有機械夾持、靜電吸盤夾持、真空吸盤夾持及石蠟粘貼等。以上各夾持方式均有其缺陷,例如易損傷晶片,吸附力小,操作環境要求高和效率低等[3-5]。本論文中的水膜吸附方式具有操作方便、對環境無污染的特點。文中基于水膜吸附的現象,在以水膜吸附晶片工件和基板的基礎上,主要針對基板表面粗糙度進行研究,并根據不同粗糙度基板表面的浸潤性,通過實驗,探究其對晶片工件吸附性和切向力的影響。

      根據不同表面性質,水滴在固體表面呈現的狀態也并不相同。自然界中有許多例子:荷葉表面具有許多微凸峰,使水滴不能穩定粘附在荷葉表面;而水滴在玫瑰花瓣和花生葉表面,即使倒置花瓣和花生葉,水滴卻仍能粘附在表面上[6-7]。親疏水性是固體表面的性質之一,在生命科學、表面化學、醫藥以及機械等領域中有著重要作用[8-10]。親疏水性是在材料表面被水分潤濕的性質,屬于界面現象[11],當水分子之間的內聚力小于水分子與固體材料分子間的相互吸引力時,材料被水潤濕,這種材料就是親水性的,被稱為親水性材料;反之,則被稱為疏水性材料。水分子與不同固體材料表面之間的相互作用情況各不相同。親水性材料多用于細胞培育、織物面料涂覆以及空調翅片[12]等,而疏水性材料則有更加廣泛的應用,如疏水性優良的玻璃表面可以減少污漬,應用在船舶和飛機機翼上可以減少阻力,并降低冰霜的形成幾率[13-18]。以上應用均基于單一的固體表面與液體的界面現象分析,而在本論文中,水膜吸附的原理是基于兩種固體之間充斥著液體,甚至還有部分氣體,所以其探究難度更大。

      1 實驗

      1.1 理論分析

      水膜吸附夾持方法如圖1所示,其原理為藍寶石晶片和不銹鋼基板在微觀視角下均為不規則的固體表面,如果沒有水膜的存在,兩固體表面之間存在著大量空氣,并且真實接觸的表面積較小,所以基本不存在吸附力,切向摩擦力也會較??;當適當厚度的水膜充斥兩固體表面之間時,由于水和不銹鋼基板以及藍寶石晶片是浸潤的,可以提供兩固體表面張力和粘滯力,同時水作為液體,填充了不規則固體表面形成的空隙,原本是空氣的地方被水填滿后,固體表面貼合緊密,此時藍寶石晶片就被吸附在不銹鋼基板表面。同時,為了抵抗藍寶石晶片在拋光過程中受到磨粒的切削力和拋光墊的摩擦力,即使在有限位片的存在下,仍希望晶片-水膜-基板之間的切向摩擦力能承擔更多的作用。由此可見,當被吸附的藍寶石晶片確定時,不銹鋼基板表面的性質就成了研究的重點,主要研究對象為基板表面的浸潤性,其影響水滴在基板表面的形態。而浸潤性的影響因素有兩點:一是固體表面自由能,二是表面粗糙度[19]。由于粗糙度對浸潤性的影響更大,且更容易創造,所以本文著重研究表面粗糙度對浸潤性的影響。

      圖1 水膜吸附夾持方式
      Fig.1 Water-film adsorption adhesion

      浸潤性主要通過測量接觸角來評判[20-24]。1805年,Young首先對光滑表面上液滴接觸角作出了定性的分析[25],并提出了著名的 Young方程。如圖 2所示,在水(液相)、材料(固相)與空氣(氣相)三相的交點處,沿水滴表面的切線與水和材料接觸面所形成的夾角θ稱為接觸角,θ角在0°~180°之間,由θ角的大小可估計潤濕程度。θ角越小,潤濕性越好。如θ=0°,則表示材料完全潤濕;θ

      圖2 Young模型
      Fig.2 Young model

      根據Young方程,我們還可以得出接觸角與各界面張力的關系,如式(1)所示:

      其中,θ為Young模型中的平衡接觸角,σsv、σsl、σlv 分別為固-氣、固-液、液-氣界面張力。由于Young方程針對的是光滑平整的平面,而本文探究的是具有一定粗糙度的非光滑平面,所以需要 Wenzel模型進行修正[26]。Wenzel模型認為,粗糙表面固液之間的真實接觸面積要大于表觀接觸面積,會放大固體表面的潤濕性,如圖3所示。

      圖3 Wenzel模型
      Fig.3 Wenzel model

      Wenzel方程如式(2)所示:

      式中,r為粗糙因子(實際固液界面接觸面積和表觀固液界面接觸面積的比值);θa為表觀接觸角;θ為本征接觸角。由式(2)可知,對于原本親水的光滑表面,提高表面粗糙度可以提高表面的親水性;而對于原本疏水的光滑表面,提高表面粗糙度可以提高表面的疏水性。因此,改變基板表面粗糙度是最直接快捷地改變潤濕性的方式。

      1.2 粗糙度及接觸角測量

      對于不同粗糙度的不銹鋼基板,首先需要保證基板的平面度,本文選取5塊初始平面度為(20±5) mm、初始粗糙度為(600±70) nm的不銹鋼基板。通過600目砂紙打磨后,測量基板表面5個位置點,重復測量5次,得到平均表面粗糙度為 332.6 nm的基板。116.2 nm表面粗糙度的基板用1000目的氧化鋁研磨液在nanopoli-100研磨機上研磨加工,每5 min測量5個位置點的粗糙度,并取平均值。64.5 nm和41.4 nm的基板通過先經3000目氧化鋁拋光液拋光,再分別在聚氨酯拋光墊和絨布拋光墊上拋光獲得。圖4顯示的是各個基板在3D形貌輪廓儀下拍攝的表面形貌,從圖中可以看到,前幾塊基板表面存在著溝槽以及較大的凹坑,而64 nm和41 nm粗糙度的基板則幾乎無劃痕,僅有部分小凹坑。

      接觸角測量裝置是基于角度測量法,通過一臺安裝在顯微鏡上的CCD攝像機,拍攝顯微鏡的視頻,并連接到計算機上,液滴在不銹鋼基板上穩定達到Wenzel狀態后,通過切線量角法直接測出接觸角的值。每塊基板取5個不同位置測量兩次,液滴通過5 μl定量計滴在基板上,測量其靜態接觸角,并取十組數據的平均值。其結果如圖5所示。

      1.3 測力實驗

      切向摩擦力和吸附力的測量是通過自行搭建的一套多維力測量平臺實現的,測力平臺裝置如圖6所示。該平臺是基于ME-systeme公司的多維力傳感器K3D120設計的,該傳感器量程為200 N,精度等級為 0.1,相對線性誤差為 0.2% FS。實驗中,多維力傳感器連接到計算機上,實時記錄藍寶石晶片在水膜吸附條件下,Z向脫離不銹鋼基板所需的力,以及X向摩擦產生的切向力。Z向和X向移動平臺均為微米級電動平臺,行程為 20 mm,進給速度設置為0.1 mm/s,分別通過PLC系統控制啟停。初始狀態下,用移液器滴0.1 mL去離子水在不銹鋼基板表面中心,再將直徑5.1 mm、厚度0.3 mm的藍寶石晶片平穩放置于基板上,使去離子水均勻分布在晶片和基板之間,形成水膜,并靜置1 min。實驗狀態時,根據所測的力的不同,控制不同的移動平臺運動。當測量Z向吸附力時,X向位移平臺處于初始位置,使吊裝裝置可以以豎直向上的力拉起藍寶石晶片;當測量X向切向摩擦力時,Z向移動平臺處于初始位置,且固定藍寶石晶片只能向X方向運動1 mm,這是為了保留初始的靜摩擦。XZ方向上都保留一定的虛位,防止移動平臺啟動時就破壞吸附狀態,減小實驗數據誤差。

      圖4 不同粗糙度的不銹鋼基板的表面形貌圖
      Fig.4 Surface topography of stainless-steel substrates with different roughness

      圖5 不同粗糙度的不銹鋼基板的接觸角測量結果
      Fig.5 Contact angle measurement results of stainless-steel substrates with different roughness

      圖6 多維力測量平臺簡圖
      Fig.6 Sketch of multidimensional force measurement platform

      2 實驗結果分析

      對五組不同粗糙度的不銹鋼基板進行測力實驗,每組實驗重復5次,同時對無水膜吸附的狀態也進行測力實驗,每組實驗重復2次。同一塊基板在不同吸附條件下,其吸附性結果如圖7所示,橫坐標為晶片Z向移動時間,縱坐標為傳感器測量得到的法向力。無水膜吸附時,藍寶石晶片和基板之間幾乎無吸附力,穩定狀態下,Z向力顯示為0.88 N,這代表藍寶石晶片與不銹鋼基板已無接觸;而水膜吸附條件下,可以看到 Z向力在提拉過程和穩定狀態之間有一段急劇下降的過程,這一過程就是因為吸附力所導致的,所以通過觀測Z向力隨時間變化的過程就可以直觀地感受吸附力的存在,其大小等于Z向力的最大值減去穩定狀態所測的值,穩定狀態下水膜吸附的Z向力值與無水膜吸附的值相同,均為0.88 N(藍寶石晶片及其固定裝置對傳感器的壓力)。

      圖7 不銹鋼基板(粗糙度Sa=64.5 nm)在無水膜/水膜吸附條件下的Z向測力結果
      Fig.7 Z-direction force measurements of stainless steel substrates (roughness Sa=64.5 nm) under (a) anhydrous/(b) water film adsorption conditions

      針對不同粗糙度的基板測量的吸附性結果,發現即使在很小的粗糙度條件下,若無水膜的存在,其吸附力都不可被觀測。在相同體積水膜的條件下,不同粗糙度基板產生的吸附力結果如圖8所示。與之前所測的接觸角相比較,發現不同粗糙度的吸附力的減小率與接觸角的增大率相近。從圖中可以看到,藍寶石晶片與不銹鋼基板間的吸附力隨著基板粗糙度的減小而增大,且均大于藍寶石晶片本身的質量,說明這些基板均可以吸附起晶片,并且夾持過程中不會脫落。

      圖8 不同粗糙度的不銹鋼基板的吸附力測量結果
      Fig.8 Measurement results of adhesion force of substrate with different roughness

      基板的吸附性是水膜吸附夾持方法的重點研究對象之一,而另外非常重要的一點就是藍寶石晶片在水膜吸附夾持狀態下進行拋光時所需要的摩擦力。實驗過程中,分別在藍寶石晶片和不銹鋼基板水膜吸附、無吸附條件下,加壓不同的砝碼,傳感器測量的壓力分別為0.9、2.97、5.03、7.13、9.19 N,每組實驗重復5次,取其平均值,實驗結果如圖9所示。

      圖9 藍寶石晶片在水膜、無水膜吸附條件下的切向摩擦力對比及摩擦力擬合曲線結果
      Fig.9 Comparison and fitting curve of the tangential friction force results of sapphire wafers under conditions with and without water film adsorption

      由于選取的藍寶石晶片為拋光片,表面粗糙度僅為 5 nm,所以在實驗中所測得的摩擦系數較小,并且可將藍寶石拋光片表面視為光滑表面。根據圖9顯示的結果可知,在水膜吸附條件下,摩擦力與壓力的關系式中存在著較大的截距,并非是以往物理中摩擦力等于壓力乘以摩擦系數。如圖9a所示,當壓力較小的時候,有無水膜對摩擦力的影響較??;而壓力增大后,粗糙表面的微凸峰發生形變,內部的水分子填充于基板的空隙之間,形成了適當厚度的水膜。所以當壓力增大時,水膜的存在與否反而對摩擦力的影響更大,這就是水粘滯力的作用。對比不同粗糙度的基板,在水膜吸附條件下,其摩擦系數隨粗糙度的減小而減小。這是因為水在提供相同粘滯力的條件下,基板本身的粗糙度也會對切向摩擦力有影響,這符合宏觀摩擦學的理論。

      而與無水膜吸附的結果相比,當粗糙度小于120 nm時,有水膜的實驗結果反而要小于無水膜的摩擦力。這是因為相同體積的水在相對平滑的表面上會形成較厚的水膜,粘滯力不再是破壞水分子與基板之間的分子間作用力,而是破壞水分子之間的分子間作用力。同時,較厚的水膜對藍寶石晶片和基板起潤滑作用,反而減小了摩擦力。此外,無水膜吸附的各組實驗之間發現,其摩擦力先變小后增大,主要是因為藍寶石晶片并非完美的光滑表面,與高粗糙度的不銹鋼基板接觸時,大量的微凸峰會影響摩擦力的大小,而當相對平滑的基板表面與藍寶石拋光面接觸時,其真實接觸面積的大小又會影響摩擦力的值。所以針對不同形貌的表面,在沒有潤滑的條件下,其規律是不同的。

      3 結論

      本文從實現水膜吸附夾持的功能出發,綜合考慮基板水膜對加工晶片的吸附性和基板-水膜-晶片之間的摩擦力,選取了不同等級粗糙度的不銹鋼基板,并根據現有的親疏水性理論和實驗研究的方法,探明粗糙度對水膜吸附功能的影響規律。主要研究結論如下:

      1)從親疏水性的原理設計出發,選擇相對親水的不銹鋼材料,并綜合考慮不銹鋼表面加工的經濟性和可行性,同時考慮不銹鋼基板在藍寶石拋光實驗的夾持過程中會受到的影響,加工了 5塊平面度為(20±5) μm,粗糙度平均值分別為 633.4、332.6、116.2、64.5、41.4 nm的不銹鋼基板。

      2)加工的 5塊基板隨粗糙度的增加,其浸潤性變差,同時吸附力也減小,但是減小程度不與粗糙度的增加率成正相關,反而與接觸角的增加率接近。粗糙度為40 nm的不銹鋼基板的吸附性最好,吸附力為2.92 N,遠大于直徑5.1 mm、厚度0.3 mm的藍寶石拋光片。

      3)水膜吸附條件下,藍寶石晶片-水膜-基板之間的摩擦力隨基板粗糙度的降低而減小,且此時64.5 nm和41.4 nm兩塊不銹鋼基板的切向摩擦力比無水膜吸附的值要小,說明水膜產生的粘滯力比提供的潤滑影響要小。116.2 nm粗糙度的不銹鋼基板是水膜吸附夾持方式的最優選擇,其加工難度較低,吸附性能較好,同時提供的切向摩擦力要大于除633.4 nm粗糙度以外的基板。

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